產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
有效防止氣體滲透，保障真空系統(tǒng)密封；具備良好的電絕緣性能，適用電子與半導體設備。
詳情介紹：
典型應用設備：
單晶爐、氧化爐：高低溫循環(huán)密封
清洗機、蝕刻設備（濕法/干法）：耐化學品、耐等離子體腐蝕密封
CVD、PVD設備：真空及高溫環(huán)境密封，耐熱穩(wěn)定性好
CMP設備：耐磨、耐高PH化學品腐蝕
光刻設備：耐溶劑密封
各類氣路、液路及真空系統(tǒng)：高純密封，防止污染
單晶爐、氧化爐：高低溫循環(huán)密封
清洗機、蝕刻設備（濕法/干法）：耐化學品、耐等離子體腐蝕密封
CVD、PVD設備：真空及高溫環(huán)境密封，耐熱穩(wěn)定性好
CMP設備：耐磨、耐高PH化學品腐蝕
光刻設備：耐溶劑密封
各類氣路、液路及真空系統(tǒng)：高純密封，防止污染
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