產(chǎn)品詳情
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詳情介紹:
半導(dǎo)體密封條主要采用氟橡膠(FKM)或全氟醚橡膠(FFKM)材料制成,可在-20℃至300℃溫度范圍內(nèi)長期工作,部分型號(hào)可短期承受330℃高溫,適應(yīng)半導(dǎo)體擴(kuò)散、退火等熱制程需求,能耐受強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、有機(jī)溶劑等1600多種化學(xué)物質(zhì),在蝕刻、沉積等工藝中保持穩(wěn)定,具備低壓縮變形率和良好的彈性,保障長期密封可靠性。
