產(chǎn)品詳情
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詳情介紹：
氟橡膠管是以含氟合成橡膠為基材，專為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域極端潔凈、高溫、強(qiáng)腐蝕環(huán)境設(shè)計(jì)的高性能管道材料。可在-60℃至250℃的寬溫域內(nèi)保持性能穩(wěn)定，部分特種型號(hào)短時(shí)耐受溫度達(dá)300℃，適配半導(dǎo)體制造中高溫刻蝕、低溫沉積等不同工藝環(huán)節(jié)的需求，具備良好的低透氣性和密封性能，可適配高真空（10??Pa級(jí)）環(huán)境，有效防止氣體泄漏，保障真空工藝（如等離子刻蝕、CVD）的穩(wěn)定性。
