產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
有效防止氣體滲透，保障真空係統(tǒng)密封；具備良好的電絕緣性能，適用電子與半導(dǎo)體設(shè)備。
詳情介紹：
典型應(yīng)用設(shè)備：
單晶爐、氧化爐：高低溫循環(huán)密封
清洗機(jī)、蝕刻設(shè)備（濕法/乾法）：耐化學(xué)品、耐等離子體腐蝕密封
CVD、PVD設(shè)備：真空及高溫環(huán)境密封，耐熱穩(wěn)定性好
CMP設(shè)備：耐磨、耐高PH化學(xué)品腐蝕
光刻設(shè)備：耐溶劑密封
各類氣路、液路及真空係統(tǒng)：高純密封，防止汙染
單晶爐、氧化爐：高低溫循環(huán)密封
清洗機(jī)、蝕刻設(shè)備（濕法/乾法）：耐化學(xué)品、耐等離子體腐蝕密封
CVD、PVD設(shè)備：真空及高溫環(huán)境密封，耐熱穩(wěn)定性好
CMP設(shè)備：耐磨、耐高PH化學(xué)品腐蝕
光刻設(shè)備：耐溶劑密封
各類氣路、液路及真空係統(tǒng)：高純密封，防止汙染
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