產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
全氟醚橡膠，這種由四氟乙烯、全氟化甲基乙烯基醚和全氟烯醚三元共聚而成的橡膠，因其完全不含C-H鍵，而展現(xiàn)出與聚四氟乙烯相似的熱穩(wěn)定性和耐化學(xué)介質(zhì)性。
詳情介紹：
在半導(dǎo)體製造工藝中，全氟醚橡膠密封圈承擔著關(guān)鍵功能：
工藝密封：應(yīng)用於刻蝕、沉積、離子注入、化學(xué)機械拋光（CMP）等工藝中，阻隔汙染物侵入和防止工藝氣體外泄
設(shè)備密封：用於蝕刻機、CVD設(shè)備等半導(dǎo)體製造設(shè)備的真空係統(tǒng)密封
耗材特性：由於高溫和化學(xué)作用導(dǎo)致的老化變形，密封圈平均替換周期為3-6個月
工藝密封：應(yīng)用於刻蝕、沉積、離子注入、化學(xué)機械拋光（CMP）等工藝中，阻隔汙染物侵入和防止工藝氣體外泄
設(shè)備密封：用於蝕刻機、CVD設(shè)備等半導(dǎo)體製造設(shè)備的真空係統(tǒng)密封
耗材特性：由於高溫和化學(xué)作用導(dǎo)致的老化變形，密封圈平均替換周期為3-6個月
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