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  • 產品名稱：湖北半導體氟橡膠管價格

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氟橡膠管是以含氟合成橡膠為基材，專為半導體製造領域極端潔淨、高溫、強腐蝕環(huán)境設計的高性能管道材料。可在-60℃至250℃的寬溫域內保持性能穩(wěn)定，部分特種型號短時耐受溫度達300℃，適配半導體製造中高溫刻蝕、低溫沉積等不同工藝環(huán)節(jié)的需求，具備良好的低透氣性和密封性能，可適配高真空（10??Pa級）環(huán)境，有效防止氣體泄漏，保障真空工藝（如等離子刻蝕、CVD）的穩(wěn)定性。
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